文章

低温泵 POWERECO系列

Source:     Posted by:     Click:412     date: 2009-6-19 1:39:59     Keyword:

■概要

气体冷却后会液化，继续冷却将冻结成固体（冰），不能再以气体的形式存在。低温泵就是利用这种现象的一种真空泵。它在内部装备极低温表面（排气面），在此将气体冻结来进行真空排气，将气体以固体形态进行储存。

低温泵有排气速度快，能够得到清洁的真空等的优点。但是，由于真空排气后的气体储存在内部，在对一定量以上的气体进行真空排气后会出现排气性能的低下，所以必须使其排气性能恢复。

这种操作称之为再生，具体来说就是使极低温度表面（排气面）的温度上升至常温，使以固体形态储存的气体再次气化，排出低温泵。

在进行再生期间，因为不能进行真空排气，所以如何快速进行再生，同时如何增大气体的储存量从而减少再生的频度，都是与半导体与电子部件的生产装置以及其他真空装置的生产性、运转率有着很大关系。

POWER系列低温泵是世界上首次通过自身的发热功能与本社独有的排气嵌板（panel）构造解决了上述问题，是实用的排气功能与多重运转时的温度稳定性经过提高的高性能的低温泵。

 

 

Total:1 pages  page: 1  

Previous:真空泵之离子泵·Noble泵
Next:no data