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CTI低温泵

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品牌 : CTI
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CTI低温泵

Cryo-Torr®低温泵   · CTI-Cryogenics基础级的低温泵。 · 多年历史证明的出色性能和可靠质量。 · 灵活加装用户的控制装置和外设部件。 · 全球性的服务支持体系。 Cryo-Torr®低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段。Cryo-Torr®低温泵以高可靠性、维护快速、低使用成本和高时效的服务支持而著称。

Cryo-Torr 8F

Cryo-Torr系列技术参数

Cryo-Torr 低温泵	8	8F	10
抽速 - 升/秒	-
水气	4,000	4,000	9,000
空气	1,500	1,500	3,000
氢气	2,500	2,200	5,000
氩气	1,200	1,200	2,500
容量 - 标准升	-
氩气	1,000	1,000	2,000
氢气 (5×10-6 Torr)	12	8	24

 

On-Board®低温泵

· 具有集成控制和外设部件的低温泵系统。可以快速的实现与设备系统的控制的整合和系统集中操控。 · 稳定的工艺性能。 · 性能经过强化，提供设备更多的工艺时间。 · 缩短再生时间，是Cryo-Torr®系列低温泵的三分之一到一半。 · 快速再生功能提升完全再生之间的性能表现。 · 成组的低温泵具有群组再生功能，可以大大缩短整个系统的再生时间耗用，增加设备的有效使用时间。 · 全球性的服务支持体系。 On-Board®低温泵集成了微电脑控制，可以显著提高泵体的性能，并提供系统自我诊断和设备通讯的功能。On-Board®低温泵可以适合复杂的软件程序控制。现在全球的追求性能和可靠性的低温泵主流应用正是采用On-Board®做为标准的解决方案。 On-Board®低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段，并保证了设备的高产和工艺的稳定性。On-Board®低温泵有全系列的品种，满足各类工艺和应用条件的选用。

On-Board 8

On-Board系列技术参数

On-Board低温泵 4F 8 8F 10 10F 400 抽速 - 升/秒           - 水气 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 17,500 空气 370 1,500 1,500 3,000 - 6,000 氢气 370 2,500 2,200 5,000 - 12,000 氩气 310 1,200 1,200 2,500 - 5,000 容量 - 标准升           - 氩气 210 1,000 1,000 2,000 -   2,500 氢气 (5×10-6 Torr) 3 17 12 24 24 42 再生时间 (冷到冷)           - 完全再生 75 min 2.5 hrs 2.5 hrs 2.5 hrs 2.5 hrs 3 hrs 快速再生 <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1 hr <1.5 hrs

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